寫真化學(xué)膜厚測量裝置

標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)可測量膜厚對(duì)象：

抗蝕劑厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

端點(diǎn)檢測

貼合晶片等

自動(dòng)映射膜厚儀

可測量膜厚對(duì)象：

抗蝕劑厚度

貼合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

電池電極

玻璃粘合晶片

帶圖案晶片等

分為：標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)、紅外透射式型號(hào)、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀

寫真化學(xué)膜厚測量裝置

通用型膜厚監(jiān)視器(標(biāo)準(zhǔn)型號(hào))

● 可用作端點(diǎn)監(jiān)視器

● 也可以對(duì)應(yīng)粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料

通用型膜厚監(jiān)視器(紅外透射式型號(hào))

● 對(duì)應(yīng)反射弱的薄膜材料

● 可對(duì)應(yīng)卷對(duì)卷測量

自動(dòng)映射膜厚儀

● 除了高速自動(dòng)映射、等高線、3D圖顯示之外，還自動(dòng)解析直方圖等統(tǒng)計(jì)信息

● 標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)φ100～300mm的圓形晶圓，也可對(duì)應(yīng)方形被測物等特殊形狀，可選配定制載物臺(tái)板

● 可對(duì)應(yīng)選配項(xiàng)目中的自動(dòng)校準(zhǔn)

成像膜厚儀

● 微細(xì)二維膜厚分布原位的可視化

● 通過在GUI上區(qū)域，計(jì)算微小區(qū)域的膜厚